厦门普瑞盛电子科技有限
公司专业提供光谱型椭偏仪,可联系厦门总公司,福州办事处
成本低
易于安装
基于视窗结构的软件,很容易操作
先进的光学设计,以确保能发挥出最佳的系统性能
高功率的DUV-VIS光源,能够应用在很宽的波段内
基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
最多可测量12层薄膜的厚度及折射率
系统配备强大的光学常数数据库
对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的TFProbe3.3软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者有效介质近似模型(EMA)测量分析;
能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片
用于实现诸如数字成像、自动mapping台、波长扩展、聚焦光斑等功能的各种可选项以及附件
应用领域
半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
· 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
· 液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
· 薄膜晶体管TFT上的层堆叠
· 医疗器械上的涂层
· 用在 MEMS/MOEMS领域的功能性薄膜
· 非晶体,纳米材料和结晶薄膜
· 薄金属膜