真空溅射镀膜电源 真空蒸发镀膜电

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真空溅射镀膜电源 真空蒸发镀膜电图1

真空溅射镀膜电源 真空蒸发镀膜电

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2014-12-12 16:43130询价
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产品详情

              产品简介

公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)有以下特点:1、恒压,恒功率      2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。      3、工艺重复性好。      4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。

 

             

              技术参数

 

品名

真空镀膜电源

型号

SPWM系列

输入

相数

单相或三相

电压

220/380V

频率

50Hz

输入方式

4线(含地线)

输出

波形

直线

功率

30KW /60KW /100KW(可定制)

电压

01200V(可定制)

稳定度

1%

电流

0200A(可定制)

稳定度

1%

纹波及杂讯

5%3%

效率

90%

控制

功率

可选择

电压

恒压控制,可本地控制也可通过0-10V4-20mA

电流

可选择

保护

具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能

冷却

风冷

外型

外壳

 

尺寸(W*D*H)

482.6mm*600mm*266.7mm30KW  

重量

30KG30KW

备注

 

 

开关电源特点

  体积小,重量轻,效率高,节能效果显著。功率因子高,对电网污染小。输出纹波小。输出电压,电流独立可调,恒压,恒流自动转换。

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