種類
円柱型
耐スパッタ
タイプ
型式名
GH-2SE
GH-3SE
GH-5SE
GH-8SE
GH-F8SE
組み合わせアンプ
GA-311
安定検出範囲
(注2)
0～0.6mm 0～0.8mm 0～1.0mm 0～2.0mm
最大動作距離
(注2)
1.2mm 1.8mm 2.4mm 4.0mm
標準検出物体
鉄5×5×t1mm 鉄10×10×t1mm
応差(ヒステリシス)
(注3)
0.07mm以下 0.05mm以下 0.04mm以下
繰り返し精度
(注3)
検出軸方向、検出軸に直角方向：1μm以下
耐
環
境
性
保護構造
IP50(IEC) IP67(IEC)、IP67G(注6)、防浸形(JIS)
使用周囲温度
-10～+60℃、保存時：-20～+70℃
使用周囲湿度
35～85%RH、保存時：35～85%RH
耐振動
耐久10～55Hz 複振幅1.5mm XYZ各方向2時間
耐衝撃
耐久500m/s2(約50G) XYZ各方向5回
温度特性(注4)
±7%以内 ±5%以内 ±4%以内
