硅片抛光机:1.本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。2.采用四个电机同步拖动,变速范围更广,运动精度更高,响应速度更快,能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求,实现了软启动、软停止,调速稳定,冲击小。3.修面机采用伺服马达驱动,能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳,得到的平面修整效果非好。
4.控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色
终端等先进技术,系统的响应速度更快、更精确,并具有远程监控,远程维护功能;5.本系列研磨机有光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。
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