全自动控制 先进的配方设定系统 内置干燥系统 稳健的设计 机械手搬运系统 Versatile for 125mm/156mm wafers 能够灵活适应125mm/156mm的硅片 全自动PLC控制 触摸屏控制，用户友好型操作界面 带密码锁的数据采集系统，防止数据非法使用 能够设定配方、参数和计量系统，记录停机历史，检测输入输出情况， 提出全面解决方案的过程： 我们是如何向您提高全面的清洗系统解决方案的： 1) Meet up with customers to discuss cleaning requirement & problems 与客户见面，当面讨论清洗系统的要求和问题 2) Study & analyze required cleaning process 研究和分析客户所要求的清洗流程 3) Conduct cleaning process simulation in our R&D testing facility (Class 10,000 to clean room are available) 在我们的开发部实验室进行清洗流程模拟试验(我们拥有10,000级的洁净室) 4) Propose concept design based on the results from R&D 根据开发部实验室试验结果提出设计概念 5) Detail Design by our in-house design team using CAD/CAM 公司内部的设计团队利用CAD/CAM等进行详细的设计 6) Electrical/Software/Human Machine lnterface design by in-house Electrical & Software team 公司内部的电气系统和软件系统设计团队设计电气系统、软件系统以及人机界面 7) Fabricate,Test & Ship upon customer satisfactory 客户满意之后，进行产品制造和测试，完成交货 8) Provide training & manual 给客户提供人员培训和使用手册 9) Commission the machine & hand over the machine upon satisfactory of customer 对设备进行安装调试，客户满意之后移交给客户