Fully Automatic Comtrolled
全自动控制
Advanced Recipe Settings
先进的配方设定系统
Built-in Drying System
内置干燥系统
Robust Design
稳健的设计
Robotic Handling System
机械手搬运系统
Versatile for 125mm/156mm wafers
能够灵活适应125mm/156mm的硅片
Fully Automatic PLC-controlled
全自动PLC控制
Touch Screen Control for user friedly operation
触摸屏控制,用户友好型操作界面
Passwird locking security to prevent unauthorized use
带密码锁的数据采集系统,防止数据非法使用
Recipe settings, parameters, metrology, downtime history,l/O monitoring,
printing system, output record, etc.
能够设定配方、参数和计量系统,记录停机历史,检测输入输出情况,
配有打印系统,进行输出记录等
Highest throughput for cleaners of this class and category
在同类清洗系统中具有最高的产出率
The total solution process:
提出全面解决方案的过程:
How we deliver solutions to you
我们是如何向您提高全面的清洗系统解决方案的:
1) Meet up with customers to discuss cleaning requirement & problems
与客户见面,当面讨论清洗系统的要求和问题
2) Study & analyze required cleaning process
研究和分析客户所要求的清洗流程
3) Conduct cleaning process simulation in our R&D testing facility (Class 10,000 to clean room are available)
在我们的开发部实验室进行清洗流程模拟试验(我们拥有10,000级的洁净室)
4) Propose concept design based on the results from R&D
根据开发部实验室试验结果提出设计概念