清代赵翼所写的《陔余丛考》中说到：“《北齐书》的〈慕容俨传〉有记：“城中有神祠一所，俗号城隍神，公私每有祈祷。”可见在南北朝时代，民间就有了城隍爷的祭祀行为了。

　　到了唐代以后，城隍已渐变成冥神，并具人格化了，祭祀城隍神更为普遍了，韩愈、李商稳、张说、张九龄、杜牧等文人都有撰祭城隍的文章，主为祈雨、禳灾的祭祀行为。

　　五代的唐愍帝清泰年间，城隍爷地位更高了，被封为王爵，各地尊称为“城隍爷”。 　　到了宋代城隍信仰已是民间非常普遍的信仰了。

　　元代文宗天历年间，朝廷让城隍爷配享夫人

古人将山岳神化而加以崇拜。从山神的称谓上看山神崇拜极为复杂，各种鬼怪精灵皆依附于山。最终，各种鬼怪精灵的名称及差异分界都消失了，或者你中有我，我中有你而互相融合了。演变成了每一地区的主要山峰皆有人格化了的山神居住。《礼记·祭法》：“山林川谷丘陵，能出云，为风雨，见怪物，皆曰神。”虞舜时即有“望于山川，遍于群神”的祭制，传说舜曾巡祭泰山、衡山、华山和恒山。历代天子封禅祭天地，也要对山神进行大祭。祭山时大多用玉石和玉器埋于地下，也有用“投”和“悬”的祭法，即将祭品鸡、羊、猪或玉石投入山谷或悬在树梢。在中国，有关山神的传说渊源流长。成书于二千多年前的《山海经》，就已记载了有关山神的种种传说。《太平广记》里也收录了大禹囚禁商章氏、兜庐氏等山神的故事。《五藏山经》里还对诸山神的状貌作了详尽的描述。

早期的五斗米道创教时，以太上老君为教主，供奉“三官”，从而魏晋南北朝时，北魏寇谦之的天师道，由于其享“天师之位”，受“清整道教”之命，得《云中者音诵新科之诫》20卷，均假“太上老君”之名，为此，他依然崇奉太上老君就成为必然的了。

　　太平道开始创教时，后者则崇拜黄老，供奉“中黄太乙”。东晋中后期，上清派、灵宝派相继出现，新出现的《上清》《灵宝》经中，不再尊太上老君为至上神。上清派以元始天王或太上玉晨道君为最尊，灵宝派以元始天尊和太上大道君地位最显，有的经书也列太上老君，但其排列地位稍次。

　　后来在各派协商，融合中提出“道不可无师尊，教不可无宗主，故老君师太上玉晨大道君焉，大道君即元始天尊之弟子也。”的共识，正是在这种师徒关系下，使他们成为三位一体的“三清尊神”，为道教神仙谱系中的神。