隋唐开始，逐渐以“正人直臣”或被认为有功于民者为城隍神。《通典》卷一百七十七“襄阳郡”条引鲍至《南雍州记》云：“城内见有萧相国庙，相传谓为城隍神” 　　AD《太平广记》卷三百三“宣州司户”条载，宣州司户死，引见城隍神，府君曰：“吾即晋宣城内史桓彝也，为是神管郡耳。”AE宋赵与时《宾退录》卷八云：城隍“神之姓名具者，镇江、庆元、宁国、太平、襄阳、兴元、复州、南安诸郡，华亭、芜湖两邑，皆谓纪信；隆兴、赣、袁、江、吉、建昌、临江、南康，皆谓灌婴；福州、江阴，以为周苛　真州、六合，以为英布；和州为范增　襄阳之谷城为萧何；兴国军为姚弋仲；绍兴府为庞玉…鄂州为焦明…台州屈坦…筠州应智

为道教所尊的女仙。葛洪《神仙传·传》曰：“汉孝桓帝时，神仙王远，字方平，降于蔡经家，……与经父母、兄弟相见。独坐久之，即令人相访（）。”继云：“至，……是好女子，年十许。于顶中作髻，余发垂至腰。其衣有文章，而非锦绮，光彩耀目，不可名状。入拜方平，方平为之起立。坐定，召进行厨。……自说云：接侍以来，已见东海三为桑田。向到蓬莱，水又浅于往者会时略半也，岂将复还为陵陆乎？'方平笑曰：'圣人皆言海中复扬尘也。''又说：'鸟爪。蔡经见之，心中念言，背大痒时，得此爪以爬背，当佳。方平已知（蔡）经心中所念，即使人牵经鞭之。谓曰：'神人也，汝何思谓爪可以爬背耶？'但见鞭著经背，亦不见有人持鞭者。”“宴毕，方平命驾，升天而去，箫鼓、道从如初焉。”①杜光庭《墉城集仙录·麻

传》全抄上文，仅在传前冠一句云：“者，乃上真元君之亚也。”

梁书．陆襄传》中也曾记载陆襄曾率领城中百姓官史一起修城隍的事情。

　　在《礼记》中则记载：“天子大蜡八，水庸居其七”，句中即说明了古时的天子有八种重大的祭祀活动，此蜡祭包含“先啬”、“司啬”、“农”、“邮表畷”、“猫虎”、“坊”、“水庸”、“昆虫”等八类。郑玄注：“水庸，沟也。”，《陔余丛考》卷三十五：“水则隍也，庸则城也。”，所以城隍是由“水庸”神演化而来，由城池的守护神而变成了城市的守护神，在周朝天子就有祭城隍的仪式，所以“城隍神”在当时就是一种“建物神”，人们将城隍视为保护地方的守护神。

　　在上古时代，只有天子可以祭祀城隍，当时祭祀的方式只筑土坛，并无塑神像或建庙，且每年有春、秋二祭，清孙承泽撰的《春明梦余录》中说：“芜湖城隍庙，建于吴赤乌二年（西元239年）间……”，是有关城隍庙中最早的记载。