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聚焦离子束微纳加工机
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2014-05-04 18:2814分享0询价
加工对象 同步实现FIB加工和SEM(扫描电镜)测量,具备纳米加工-纳米原型设计-D/D纳米表征-纳米分析能力,实现微/纳米元件(如三维微/纳结构、微刀具、碳纳米管器件等)的制备和性能检测。 加工说明 聚焦离子束(FIB)加工
同步实现FIB加工和SEM(扫描电镜)测量,具备纳米加工-纳米原型设计-D/D纳米表征-纳米分析(包括:维重构、STEM分析、能谱分析等)能力,实现微/纳米元件(如三维微/纳结构、微刀具、碳纳米管器件等)的制备和性能检测。
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