电子工业超纯水设备应用技术
在工艺设计上,自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性炭过滤器,精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混合床等。
1、介质过滤器主要作用是去除原水中的悬浮物质及机械杂质设备由优质不锈钢材料制作而成。体内装有布水帽、精制石英砂等。合理的石英砂装填比例及良好的布水系统,使系统的产水水质更加稳定。另外设备还设有气体冲刷功能,能最大限度地清除介质上及床层中的污垢,提高出水水质和延长工作周期。
2、活性炭过滤器具有除臭、去色、除油、吸附有机物杂质等作用,能最大程度的去除水中的游离余氯,保证反渗透膜的进水水质,设备由优质不锈钢材料制成。
3、RO主机系统引进国际上先进的反渗透技术,利用压力差原理,能有效地去除水中的盐。
4、混合采用离子交换技术,内装阴、阳树脂,合理的树脂层高度能有效地保证出水水质满足用户要求。
五、电子工业制备超纯水的工艺
1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
六、电子工业用超纯水处理设备应用领域
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水。
2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水。
3、实验室和中试车间用超纯水。
4、汽车、家电表面抛光处理。
5、光电子产品。