超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素。超纯水,是一般工艺很难达到的程度,如水的电阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。目前,制备超纯水的方法通常采用反渗透,去离子或电去离子(EDI)等工艺。电子行业超纯水常规制备工艺
1)采用离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2)采用反渗透加离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3)采用反渗透加EDI方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点应用领域
?化工材料的生产和加工过程所用的溶剂及清洗过程 ?超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水 ?实验室和中试车间用超纯水
?半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水 ?石英、硅材料生产、加工、提纯 ?高纯墨水、传真打印机中的喷墨、纳米墨水
?汽车、家电表面抛光处理 ?光电子产品; ?日用化妆品生产用水 ?其他高科技精微产品;
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