．STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB制程前的ITO电极表面清洁

．COF (ILB) 或COB制程的电极表面清洁

．LCD或OLED的玻璃清洁

．IC封装（Flip Chip, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.）或LED封装的表面清洁或改质

．PCB的表面清洁、活化、改质或去残胶

．晶圆的表面清洁或去光阻

等离子体技术行业应用

等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的'活性'组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

空气等离子表面处理机

尺寸： (L*W*H) 604*379*162

输出功率：290~1000W

有效清洁范围：5-200mm(宽幅需定制）

电源：单相100~240V，10A

产品描述：此为我公司新一代PTI(Plasmatechnics)空气源等离子表面清洗设备，可配合自动化线进行在线清洗，并可以通过串口进行远程设备控制。该设备配有自动报警装置及错误提示，易于操作。

等离子体清洗的机理

主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。

等离子体清洗技术的最‘大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。