氯氧化锆四氯化硅 、 三氯氢硅尾气回收 、四氯化硅尾气回收、 四氯化硅提纯精制。四氯化硅是生产气相白炭黑和有机硅的主要原料,纯度要求很高。而四氯化硅的获得,无论是金属硅氯化法或者硅铁氯化法生产四氯化硅,还是三氯氢硅副产四氯化硅,或者锆石一步氯化法生产氯氧化锆副产四氯化硅,都是杂质含量较高的粗四氯化硅,需要精馏提纯。我院根据四氯化硅产出工况和成分,个性化设计提纯工序,由干法除尘、湿法冷凝、再沸精馏、高低沸物回收、不凝尾气吸收净化等工序组成生产装置,连续产出99.8%的高纯四氯化硅,以满足质量指标和产能指标的要求。