高精度平面磨床主轴的热处理工艺分析（三）

2、调质

调质作为预先热处理目的在于得到均匀的回火索氏体。保证平面磨床主轴心部具有良好的综合力学性能，消除内应力，减少尺寸变化，为氮化层提供强韧的基体，同时使平面磨床主轴渗氮时得到均匀的硬化层。

调质时应注意淬火温度。若淬火温度太高，除增加脱碳倾向外，由于晶粒粗大，渗氮时易形成网状氮化物；若温度太低，会存在较多未溶铁素体，容易形成针状氮化物，两者都增加氮化层脆性。通常选用淬火温度900-930℃；使铁素体充分溶解而奥氏体晶粒不长大，淬火后硬度HRC≧50。调质回火温度直接影响以后氮化层的深度及硬度。即回火温度低，氮化层就浅，心部硬度和氮化层硬度均高；回火温度高，氮化层深度增加，但心部和氮化层硬度降低，见下图：

调质回火温度对硬度及渗氮屋厚度的影响回火温度取600～680℃在炉内垂直吊挂，出炉空冷。调质后硬度HB230-280，为单一回火索氏体。在距表面4mm内没有铁索素体存在。心部铁素体量应小于5%，有助于提高渗氮质量和降低脆性。38CrMoAlA调质后的力学性能：

抗拉强度σb=980MPa

屈服强度σ=835MPa

延伸率δ=15%

断面收缩率争ψ=50%

冲击韧性值αk=88J/cm2

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大型超精密平面磨床的研制要求

之

平面磨床磨头部件

磨头部件对一台平面磨床来说。相高于人的“心脏”部分，其工作精度直接影响到被平面磨床加工工件的精度。因而，主轴结构是举足轻重的。

为了能磨出较高的精度和良好的表面粗糙，超精密平面磨床主轴系统须有较高的刚性。磨削时，尽可能使弹性后让量小，主轴的径向跳动量在0.1μm以下。

为了满足上述要求，平面磨床主轴轴承采用发热较小的静压轴承，电机底座用树脂混凝土复合材料，传动采用弹性联轴节和皮带传动，使有可能产生振动的零件，都加以有效的控制，达到消振的目的。其次，平面磨床砂轮的平衡及冷却液的喷射角度都要选择其最l佳值，不然对磨削的波纹度都有较大的影响。

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