维持泵、机械泵、罗茨泵、罗茨泵、扩散泵、维持阀、粗抽阀、前级阀、高阀、放气阀、节流阀、水压水流检测和报警、加热系统恒温、扩散泵油温检测和控制、真空压力检测和控制、气体流量检测和控制、转架速度调节、电弧电源电流检测和调节、偏压电源电压占空比检测和调节、磁控电源电压电流检测和调节以及其他真空设备辅助设施的自动检测、控制、报警。
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