产品特点:
采用电阻蒸发或电子***蒸发方式,是镀制多层光学薄膜(如彩色膜、增透膜、反光膜、金属膜、导电膜等)的主要机器。广泛应用在相机镜头、手机镜片、光学片等各个领域。
技术参数:
▲真空室箱体:采用SUS304不锈钢,直径1200*
▲夹具方式:球面形状或平面形状,具体按照客户的产品来确定。
▲蒸发源:采用电子***和热电阻蒸发源,可根据需要配置大功率离子源、轰击电源等辅助系统,可进行高精度蒸镀。
▲膜厚控制:可选用光学膜厚测厚仪或石英晶体膜厚仪。
▲电源:配备直流电源,高压轰击电源,及蒸发大电流电源。
▲抽真空参数:从大气抽至5*10‾³Pa≤8min 极限真空度8*10‾4Pa
▲抽气系统:主要配备兰州扩散泵,罗次泵,旋片泵,按照真空室大小确定,并可根据客户要求灵活改变配置。
▲控制系统:可以选用手动控制;计算机控制,触摸屏面板控制。
▲其他:配备电热加热系统,可以选配扩散泵自动油温控制装置。冷水机组等等