净化
彩钢板净化工程 无尘车间 洁净室无尘室车间工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域%覆盖使洁净度等级提高至级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级,~,之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为~级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class ~级。
净化彩钢板净化工程 无尘车间 洁净室无尘室车间工程洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为~级,高度在.米左右,覆盖面积约m以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
净化彩钢板净化工程 无尘车间 洁净室无尘室车间工程洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达.~.%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。