风速的控制 　　昌平正压洁净室 昌平负压洁净室 昌平防静电洁净室洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选.~.m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。　　昌平正压洁净室 昌平负压洁净室 昌平防静电洁净室另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。　昌平正压洁净室 昌平负压洁净室 昌平防静电洁净室　垂直层流式方向要保持均一气流必须：（a）吹出面的风速不可有速度上的差异；（b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（.m/s，.m/s）均有涡流之现象发生，而.m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在.~.m/s之间。影响因素昌平正压洁净室 昌平负压洁净室 昌平防静电洁净室　影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。 　　一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距/之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。　昌平正压洁净室 昌平负压洁净室 昌平防静电洁净室　洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。 洁净室的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室： 　　⑴天花板系统：包括吊杆（Ceilingrod）、纲梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。　　⑵空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。　　⑶隔墙板（Partitional wall）：包括窗户、门。　　⑷地板：包括高架地板或防静电舒美地板。　　⑸照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。　　洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：　　A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；　　B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；　　C.吸湿性小；　　D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。