唐山正压洁净室 唐山负压洁净室唐山防静电洁净室复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。　　⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域%覆盖使洁净度等级提高至级以上，可节省安装运转费用。　　此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。　　洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。　　⑵洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。　　⑶并装局部洁净室（Clean Spot）：将洁净室等级,~,之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为~级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。　　洁净工作台：等级Class ~级。　　洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为~级，高度在.米左右，覆盖面积约m以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。气流的流动 气流的重要性 　　唐山正压洁净室 唐山负压洁净室唐山防静电洁净室洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。　　洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达.~.%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。风速的控制 　　洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选.~.m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。　　另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。　　垂直层流式方向要保持均一气流必须：（a）吹出面的风速不可有速度上的差异；（b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（.m/s，.m/s）均有涡流之现象发生，而.m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在.~.m/s之间。