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真空镀膜
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2013-09-09 10:271分享0询价
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真空镀膜
英文名称:
vacuum deposition
定义:
在真空条件下,对光学零件镀膜的工艺过程。
应用学科:
机械工程(一级学科);光学仪器(二级学科);光学仪器一般名词(二级学科)一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产激光唱片(光盘)上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀金属膜。
在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
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