产品介绍以高效率和高精度为基本特征的高速加工技术促进了直线电机越来越广泛地应用于数控机床、工业机器人和工业自动化[1].具有代表性的永磁直线同步电机(PMLSM)凭借其功率因数高、控制性能好等优点,适合于高精度、大推力的位置控制场合产品属性PMLSM直接驱动XY平台是以X、Y两个呈垂直分布的单轴PMLSM伺服系统构成的双轴平台系统,其以快速的响应、准确的定位和高可靠性广泛应用于高速自动化加工设备等领域[4].提高单轴跟踪精度是保证XY平台轮廓加工精度的前提,但是此类方法忽略了双轴间动态不匹配对轮廓加工精度造成的影响[5],因此,双轴间的动态不匹配问题成为降低轮廓误差的首要课题其他说明Tomi-zuka与Chiu提出任务坐标转换法[6],通过减小任务坐标的法线误差直接降低轮廓误差,但是其线性坐标转换不适用于非线性系统,而且其轮廓误差也是近似值;Shyh-Leh Chen提出等效误差法,通过重新定义控制变量,将跟踪问题转化为稳定化问题交易说明联系方式：13701127697/010-59750230联系人：马经理