太阳能清洗机

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太阳能清洗机图1

太阳能清洗机

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2013-05-13 16:1850询价
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厦门鑫达新专业生产最低价格的太阳能清洗机厂家。最近几年世界太阳能光伏技术普遍得到各国政府的重视和技支,也成为光伏产品的快速发展趋势。[1]价格的上升命使太阳能电池成本增加,为了提高生产效率,提高竟争力,太阳能生产厂商都加大力度降低硅片率,降低生产成本,同时对电池硅片的质量提出了高要求,在生产过程中应用超声波清洗技术更加满足了生产商的这一要求。适用于2”-8”基片的半导体清洗工艺中,有效去除硅/晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合;可根据用户要求配置氮化占地面积小,造型美观、实用,操作符合人机工程原理。编辑本段设备特点1.人机界面,PLC控制;2.采用单臂机械手,可灵活调节清洗工艺;3.各清洗槽设置抛动机构,保证清洗效果;4.采用超声波清洗、鼓所冲洗等工艺;5.采用28KHZ、40KHZ多频段超声波;6.全封闭机构,外形美观。7.设备内部安装有维修照明灯,方便维修。8.上下料有专用手推车,方便员工操作.[2]编辑本段工艺流程料→NO.1超声波粗洗→NO.2超声波精洗→NO.3高压喷淋清洗→NO.4超声波漂洗→NO.5超声漂洗→NO.6热风干燥→下料编辑本段应用范围设备适用于:1炉前清洗:扩散前清洗。2光刻后清洗:除去光刻胶。3氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。4抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。5外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣7离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层8扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。9外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。10CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。参考资料1. 中国太阳能硅片行业市场深度评估 .中企顾问网[引用日期2013-04-9].2. 太阳能电池硅片超声波清洗机 .超声波[引用日期2013-01-26].开放分类:超声波清洗机 设备 工业清洗设备 , 硅片清洗机 , 半导体清洗设备
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