东莞EDI超纯水设备 东莞EDI模块维护 东莞工业超纯水设备
广东集成电路高纯水设备 EDI高纯水设备生产厂家
东莞水之源水处理设备有限
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☆工艺流程
加药系统
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预处理系统→反渗透系统→脱气系统→EDI系统→供水系统
☆工艺说明 硅片超纯水设备,电子行业超纯水设备,EDI超纯水设备
※ 预处理系统由原水箱、原水泵、机械过滤器、活性碳过滤器、软化器、保安过滤器或原水箱、原 水泵、机械过滤器、保安过滤器、超滤组成;
※ 反渗透系统由高压泵、反渗透膜组件及膜壳组成,分为一级和二级;
※ 脱气系统由脱气膜、自吸泵组成;
※ EDI系统由中间水箱、淡水泵、浓水泵、EDI膜块、直流电源组成;
※ 加药系统由ST絮凝剂或阻垢剂、PH调节剂组成;
※供水系统由纯水箱、供水泵组成。
EDI是一种将电渗析和离子交换相互结合在一起的除盐新工艺,该工艺过程取电渗析和离子交换两者之长,弥补对方之短,即利用离子交换能深度脱盐来克服电渗析极化而脱盐不彻底,又利用电渗析极化而发生水电离产生H+和OH-离子实现树脂自再生来克服树脂失效后通过化学药剂再生的缺陷,因而EDI技术是一种完美的除盐工艺。
EDI超纯水设备是应用在反渗透系统之后,取代传统的混床离子交换技术(MB-DI)生产稳定的超纯水。EDI技术与混合离子交换技术相比有如下优点:
①产水水质高(最高18 MΩ.cm)
②操作简单、安全。管理方便。
③不会因再生而停机
④无需酸碱化学药剂再生。
⑤运行费用低
⑥占地面积小
⑦无污水排放
EDI工作原理:
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EDI模块将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成EDI单元。EDI工作原理如图所示。EDI模块中将一定数量的EDI单元间用格板隔开,形成浓水室和淡水室。又在单元组两端设置阴/阳电极。在直流电的推动下,通过淡水室水流中的阴阳离子分别穿过阴阳离子交换膜进入到浓水室而在淡水室中去除。而通过浓水室的水将离子带出系统,成为浓水. EDI设备一般以二级反渗透(RO)纯水作为EDI给水。RO纯水电阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI纯水电阻率可以高达18 MΩ.cm(25℃),但是根据去离子水用途和系统配置设置,EDI超纯水适用于制备电阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的纯水。