天津微纳制造技术有限
公司于2005年11月在天津经济技术发区(泰达TEDA)注册成立,隶属于天津大学。公司坐落于泰达天大科技园园区内,一期规划占地2000平方米,是微纳制造领域的高新技术企业。天津微纳制造技术有限公司引进海外管理与技术骨干构建核心团队,依靠泰达良好的产业化环境和天大科技园技术创新的孵化机制构成创业优势,以微纳制造领域的一流企业作为自己的发展目标,将为拉动以天津滨海新区为核心的环渤海经济圈的先进制造技术发展发挥重要作用。
天津微纳制造技术有限公司重点发展光学及光电子仪器及系统、生物及医疗仪器与设备、高技术日用品、航空航天及计算机外围设备等领域中的核心、精密及微小器件的研发、加工和制造。在非球面及自由光学曲面加工、脆性材料加工、聚焦离子束加工(FIB)、超精密加工及测量等方面具有雄厚实力,将为来自科研机构与工业界在高精度、复杂形面、及微小元器件的需求提供高质量的设计、加工、检测、技术咨询、产品制造、售后咨询及维护等服务。
天津市微纳制造技术工程中心经天津市科委批准,于2006年12月组建。中心以天津微纳制造技术有限公司作为依托企业和运行实体,中心与公司采用MNMT作为一致的标识进行商标注册,并以此为基础建立统一的CI体系。天津大学作为MNMT的科研依托单位,以精密仪器与光电子工程学院及挂靠其下的精密测试技术及仪器国家重点实验室为MNMT提供原创性科研、技术以及人员方面的支撑。
天津市微纳制造技术工程中心,旨在研究与开发非球面及自由光学曲面加工、脆性材料加工、微纳加工、超精密加工及测量技术,从而形成基础研究与产业化的平台。其自有技术开发、项目委托开发、成果转化及技术服务等为相关科研院所和高技术企业突破制造技术瓶颈,实现大规模生产奠定基础,而且可打破国外企业在相关领域的垄断地位,形成高精度及微小关键元器件国产化的格局,带动高技术产品制造产业链的形成。
聚焦离子束技术(FIB)是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜沉积和刻蚀等过程于一身的新型纳米加工与分析技术。MNMT利用聚焦离子束技术,能够进行聚焦离子束刻蚀加工,同时可实现在线电镜高分辨率检测;通过气体注入系统进行铂沉积,结合样品微操作装置,可进行微/纳结构与器件的制备和结构优化研究。主要应用包括高精度复杂微/纳结构和器件、微刀具、碳纳米管器件及TEM样品制备等。目前,MNMT已经成功开发了西门子星、小于100nm线宽的纳米掩模、生物光学芯片及微纳衍射光学元件等高精度难加工关键器件。 应用范围:
?高精度复杂微纳米结构和器件的加工与制造
?微电子集成电路的缺陷检测分析和修整
?TEM样品的制备和提取
?微纳米生物芯片和光学器件加工
?微刀具制造
?微机电系统(MEMS)加工
同步实现FIB加工和SEM(扫描电镜)测量,具备纳米加工-纳米原型设计-2D/3D纳米表征-纳米分析(包括:3维重构、STEM分析、能谱分析等)能力,实现微/纳米元件(如三维微/纳结构、微刀具、碳纳米管器件等)的制备和性能检测。