深圳市广思科技有限公司 施汉镔先生:18814366140 深圳市广思科技有限公司 施汉镔先生:18814366140
HALO 水分测定仪为用户提供了无以伦比的准确性、可靠性、响应速度,而且易于操作。HALO 水分测定仪采用了
TigerOptics 专利一个非常全面和经济的分析仪设计 ~(CRDS)光腔振荡衰减光谱微量气体定量分析。这个多功能分析仪,
只需一台设备,允许用户测量惰性气体,腐蚀性和有毒气体中的水分。用户无需间接周期传感器的维护程序,无需量程校
正,无需净化器更换和无需泵重建。HALO-H2O-RP 不同于HALO-H2O,它集成了一个上游压力控制器,允许在应用程
序中,样品压力范围从50 托 - 15psig 的操作。这些应用程包括半导体晶圆处理、废气排出气体监测。
运作范围:0-20 ppm 测量下限:2 ppb 外形尺寸(高x 宽x 深):8.75″ x 8.5″ x 22.5″
灵敏度: 1 ppb 重量: 15 千克(33 磅)
精度(取大值):读数的±4%或±1ppb
响应速度: 95%的响应 少于3 分钟
环境温度:+10°C ~ +40°C
存储温度:-10°C ~ +50°C
所用材料: 316L 不锈钢(可选哈氏合金) 压力:50 torr -15 psig
接液部件: 10 Ra 流量:可达1,000 sccm
气体的连接:1/4” VCR 入气口及出气口 气体样本: 氨、砷化氢、膦、或惰性气体
泄漏测试:< 2×10-8 mbar?l/min 气体温度:低于60°C
警报指示灯: 用户设置 认证 : CE: LVD & EMC
电源电压: 90-240 VAC, 50/60 Hz 测量原理:(CRDS)光腔振荡衰减光谱
消耗功率:40W 以下 特许: 美国专利#5528040, 其他专利申请中
输出信号:记录: 0-5 VDC / 4-20mA 隔离
通信: RS-232(可选无线)
用户界面:5.6“LCD 触摸屏, 10BaseT Ethernet,RS-232/422