MSCT

氮化硅探针

用于接触式、轻敲式或力的测量，高灵敏度，弹性系数极低；

每个基片有6个悬臂，弹性系数为0.01 - 0.50 N/m，有锐化处理，

包装数量：10根/盒

针尖参数

几何：各向异性

针尖高度 (h): 2.5 - 8.0µm

正面角(FA): 15 ± 2.5°

背面角(BA): 25 ± 2.5°

侧面角 (SA): 17.5 ± 2.5°

针尖曲率半径(Nom): 10nm

针尖曲率半径(Max): 40nm

针尖缩进 (TSB)(Nom): 4µm

针尖缩进范围 (TSB)(RNG): 0 - 7µm