流量计,多晶硅炉用,BROOKS

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流量计,多晶硅炉用,BROOKS图1

流量计,多晶硅炉用,BROOKS

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2015-11-25 11:17180询价
参数
  • BROOKS品牌
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  • 宝山产地
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上海网磁电子有限公司普通会员
所在地:上海 宝山
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产品详情

上海网磁电子有限公司专业供应美国原装、全新
的质量流量计-MFC,BROOKS。专业用于制造
单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用,适用的气体
有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。
气体的最大量程:50120SLM,数字和模拟兼容
电气接口:D15针 管道接口:3/8"VCR
交货周期:4周左右,长期订货,周期还会短。
可以完全替代和兼容MKS的相关流量计。
Analog I/O Option:
15-pin D-Connector
0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals
Single sided 24 Volt DC power supply
(13.5-27 volts DC range).
Separate Valve-Override signal
Precision 5 Volt Reference Output signal
Compatible with Brooks' Model 0150 series
secondary electronics
TTL (open collector) Alarm Output signal
Digital Communication Options:


DeviceNetTM, ODVATM certified
FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified
HART® based RS-485 multidrop

全线代理韩国TK的各种接头、阀门、不锈钢管,欢迎洽谈。    

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