SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机，目前得到业界的广泛认同，该系列光刻机曝光系统的曝光灯，主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列，具备良好的光通量，稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下：
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
Lamps for SÜSS Equipment | Lamp type | Max life[h] | Equipment(适用机型） |
HBO 200W/DC | 1000 | MJB3 | |
HBO 350W/S | 600 | MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500 | |
HBO 1000W/D | 1000 | MA150,MA200,MA4,MA6,MA8 | |
HBO 5000W/S | 1000 | MA300 |
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联 系 人：刘 鸿
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