| 内容 | 日本ULVAC在提供各种真空设备的同时，还提供各种真空泵，真空计测，氦气质朴检漏仪等各种真空配套设备。同时提供优良的售后服务。低温泵也是优势产品之一。 | |||||||
| 规格型号 | LR/HR60 | LR/HR90 | LR180 | LR/HR300 | LR/HR600 | LR/HR1200 | LR1800 | |
| 增压泵 | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |||
| 干泵 | LR/HR60 | LR/HR90 | LR180 | LR/HR60 | LR/HR90 | LR/HR90 | LR180 | |
| 速度 | 50Hz | 62 | 112 | 183 | 359 | 653 | 1012 | 1701 |
| m3/hr | (10 | (18 | (31 | (59 | (109 | (169 | (283 | |
| (L/min) | 30) | 60) | 00) | 80) | 00) | 00) | 50) | |
| 60Hz | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | 1784 | |
| (13 | (21 | (39 | (60 | (117 | (175 | (297 | ||
| 33) | 00) | 50) | 80) | 00) | 00) | 00) | ||
| Maximum inlet | Atmospheric pressure *2 | |||||||
| pressure (Pa) | ||||||||
| 极限压力 Pa | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大排气压力 | 1Pa to Atmospheric pressure | |||||||
| 入口尺寸 *1 | VG | VG | VG | VG | VG | VG | VG | |
| 50 | 80 | 80 | 80 | 80 | 100 | 150 | ||
| 出口尺寸 | NW40 | |||||||
| 润滑油，润滑脂 | PRC | - | FOMBLIN YL VAC 14/6 | |||||
| BARRIERTA J60F | ||||||||
| - | - | - | 0.7L | 1.5L | 1.9L | 1.9L | ||
| LR/ | FORBLIN YL VAC 25/6 | |||||||
| HR | BARIERTA J100F | |||||||
| 0.5L | 0.9L | 1.5L | 0.5L | 0.9L | 0.9L | 1.5L | ||
| BARIERTA JFE552HV | ||||||||
| 23.8 | 30 | 37.4 | 23.8 | 30 | 30 | 37.4 | ||
| g | g | g | g | g | g | g | ||
| 重量 (kg) | 180 | 245 | 335 | 275 | 370 | 420 | 545 | |
| kg | kg | kg | kg | kg | kg | kg | ||
日本爱发科ULVAC干泵
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