1. 特点及主要应用领域
气体质量流量控制器（流量计）Mass gas flow controller（meter）缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点：
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域：
半导体制造行业的气体流量控制；
分析仪器设备的气体计量与控制；
各种形式的真空镀膜设备；
环境检测与分析设备；
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；
特种材料表面处理装置与燃烧控制；
混气配气系统和泄露探测系统等。
2. S49系列质量流量控制器(流量计)型号
S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计)，S49为质量流量控制器(流量计)产品，32/MT为本公司此产品设计序列号。
质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量；
质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体的质量流量功能。
型式批准证书：2011F215-11
执行Q/CYHMT001-2011企业标准
许可证编号：京制01050063号
3.主要技术指标
质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量单位为：mL/min（毫升/分钟）；(SCCM行业标准)
L/min （升/分钟）。 (SLM行业标准)
标准状态为：温度----273.15K（0℃）；
气压----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示满量程值
表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 |
项目 |
S49 32/MT |
1 |
流量规格 |
（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
4 |
准确度 |
±1.5%F.S |
5 |
线性 |
±1.5%F.S |
6 |
重复精度 |
±0.2%F.S |
7 |
响应时间 |
≤8秒（T95） |
8 |
工作压差范围 |
（50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
9 |
耐压 |
3MPa; 10MPa |
10 |
工作环境温度 |
（5～45）℃ |
11 |
材料 |
不锈钢316L |
12 |
标准密封材料 |
Viton®， EPDM， 或其他由用户指定 |
13 |
漏率 |
1×10-8Pa.m3/s |
14 |
接头 |
Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定 |
15 |
输入输出信号 |
（0～＋5.00）V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) |
16 |
供电电源 |
±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
17 |
外形尺寸mm |
130（宽）×102（高）×28（厚） |
18 |
重量kg |
0．8 |
