分享好友 头条首页 频道列表
首页 > 头条 > 电子元器件 > 行业政策 > 正文

南大光电完成国家科技重大专项,芯片光刻胶已验收

2021-08-02 16:28540

7 月 29 日,南大光电官方发布公告:“关于公司承担的国家科技重大专项(02 专项)”已通过专家组验收。其中包括极大规模集成电路制造装备及成熟工艺、先进 7 纳米光刻胶产品开发与光刻胶供给链产业化。

据南大光电披露,公司收到极大规模集成电路制造装备及成套工艺实践管理办公室下发的项目综合绩效评价结论书,公司作为牵头单位,承担的“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之光刻胶项目通过了专家组验收。

据悉,光刻胶项目总体目标是开发高端集成电路制造用 ArF 干式与浸没式光刻胶成套工艺技术,形成规模化生产能力;构建与集成电路行业国际先进水平接轨的技术和管理人才团队等等。项目分为三个子课题,南大光电控股子公司宁波南大光电材料有限公司(以下简称宁波南大光电)承接了其中的“ArF 光刻胶产品的开发和产业化”课题。

专家组评定后认为,通过项目的实施,宁波南大光电掌握了 ArF 干式和浸没式系列光刻胶产品的原材料制备、配胶、分析检测、应用验证等关键技术,在知识产权和人才培养等方面取得重要进展。形成了由 51 人组成的 ArF 光刻胶研发与生产管理团队,建成了 ArF 光刻胶产品的质量控制平台、年产 5 吨的干式 ArF 光刻胶及年产 20 吨的浸没式 ArF 光刻胶产业化生产线。实现 ArF 光刻胶产品销售,完成了任务合同书规定的主要考核指标。

ArF 光刻胶材料是集成电路制造领域的关键材料,可以用于 90nm~14nm 甚至 7nm 技术节点的集成电路制造工艺,主要应用于高端芯片制造。目前我国在 ArF、KrF 光刻胶领域中的市场占比较少,全球大多数的光刻胶市场都被美国、日本垄断。

需要注意的是,有关 7 纳米 ArF 光刻胶的应用,南大光电目前只是小规模投产,与之相关的生产线正在构建当中。在公告中,南大光电也表示,ArF 光刻胶的复杂性决定了其在稳定量产阶段仍然存在工艺上的诸多风险,不仅需要技术攻关,还需要在应用中进行工艺的改进、完善。同时,ArF 光刻胶产品国产化替代受品质、客户的严格要求,后续是否能取得下游客户的大批量订单,能否大规模进入市场仍存在较多的不确定性。这些都会影响 ArF 光刻胶的量产规模和经济效益。

5 月末以来,南大光电公司股价累计涨幅超过 150%。


产品标签: 光刻 光电 南大 集成电路 专家组
资讯标签: 光刻 光电 南大 集成电路 专家组
反对 0
举报 0
收藏 0
打赏 0
评论 0
免责声明
本文仅代表作者个人观点,本站悠牛网未对其内容进行核实,请读者仅做参考,如若文中涉及有违公德、触犯法律的内容,一经发现,立即删除,作者需自行承担相应责任。涉及到版权或其他问题,请及时联系我们 。
最近来访记录

    辽宁省鞍山市网友 昨天 17:13 用Win7电脑在IE7浏览器上访问了本页

    浙江省衢州市网友 12-19 14:30 用WinXP电脑在IE8浏览器上访问了本页

    江苏省南通市网友 12-17 18:28 用WinXP电脑在谷歌浏览器上访问了本页

    浙江省绍兴市网友 12-16 06:42 用Win8.1电脑在IE7浏览器上访问了本页

    美国 马萨诸塞州大波士顿区麻省理工学院网友 12-15 13:56 用在谷歌浏览器上访问了本页

    四川省南充市网友 12-13 11:52 用Linux设备在谷歌浏览器上访问了本页

    辽宁省沈阳市网友 12-12 07:39 用WinXP电脑在IE7浏览器上访问了本页

    辽宁省网友 12-11 05:38 用Win10电脑在谷歌浏览器上访问了本页

    美国网友 12-09 21:28 用Win10电脑在谷歌浏览器上访问了本页

    江苏省淮安市网友 12-08 01:54 用Win8.1电脑在Maxthon上访问了本页