三甲基镓是一种有机金属化合物,主要用于:镓外延片化学气相沉积。即在一个材料表面通过气相沉积工艺(MOCVD),生长一种特殊物质(例如砷化镓等)。三甲基镓是生产LED外延片、制备GaAs,AsGaAl等半导体化合物的必备化学原料。
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