三甲基镓 MO源
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三甲基镓 MO源

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三甲基镓是一种有机金属化合物，主要用于：镓外延片化学气相沉积。即在一个材料表面通过气相沉积工艺（MOCVD），生长一种特殊物质（例如砷化镓等）。三甲基镓是生产LED外延片、制备GaAs，AsGaAl等半导体化合物的必备化学原料。

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