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罗茨真空机组的极限压力与测量时使用的真空计种类有关。用压缩式真空计测量时，极限压力值比用热传导真空计（热偶计或皮氏计等）测量的结果约低一个数量级。这是因为前者只能测得永久气体的分压，后者测得的是被压气体的全压。我国现行规定使用压缩式真空计来测量油封机械机组的极限压力。机组循环油量也影响机组的极限压力。随着油量的增多，密封效果越好，机组的极限压力与油量的关系发生变化，最终达到油的饱和蒸气压pgopg。而实际上机组油中含有大量的空气和水分，机组油进入机组腔后，吸收在机组油中的空气和水分又释放出来，机组极限压力与油量的关系向上发展。一般机组油应保持在指定油位上，使机组的循环油量保持一定。对于双级机组，机组油要经过低真空级脱气后才能进入高真空级，这样可以减少机组油在高真空级中的放气量，以降低机组的极限压力。
罗茨真空机组的极限压力与机组油的工作温度有关。油温越高，油的饱和蒸气压越高，机组的极限压力也越高。
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