去PSG(磷硅玻璃)清洗机
目的:1去除硅片表面的P-Si玻璃层(PSG),为加镀减反射膜做准备 在形成PN结的扩散过 程中,在硅片表面形成一层一定厚度的磷硅玻 璃,磷硅玻璃不导电,为了形成良好的欧姆接触,减少光的反射,在沉积减反射膜之前,将磷硅玻璃腐蚀。
2磷硅玻璃使硅片在空气中容易受潮,导致电流的降低和功率的衰减
3死层的存在大大增加了发射区电子的复合,会导致少子寿命的降
4磷硅玻璃的存在使得PECVD后产生色差。
使用去磷硅玻璃(PSG)清洗机注意事项:1,及时甩干,避免水文印。2,注意硅片正反方向不要差错。
苏州晶洲装备科技
公司,大量销售全自动去磷硅玻璃(PSG)
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