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LED清洗设备
¥0.00/普通
2013-07-09 11:160分享0询价
适用于:2-6寸晶圆清洗
产品规格
控制模式:半自动控制(工件搬运为手动操作,工艺参数控制过程为自动)
整机尺寸:约1400mm(L)×1200mm(W)×1800mm(H)
操作台面高度:850±20mm
工件:2-6英寸晶圆
产能:25片/槽 可按客户产能需求设计
电源:380V 三相五线制,50HZ,5KW
纯水:CL-PVC 进口DN25 管径,0.2~0.3 MPa 压力,用量MAX:2m3/h
抽风口:φ200*1 抽风量MAX: 900m3/h ,风量口装有蝶阀,可手动调节
CDA: 0.4~0.6 MPa 压力,接管口径 ∮8mm,用量MAX:0.5m3/h
N2: 0.4~0.6 MPa 压力,接管口径 ∮8mm,用量MAX:2m3/h
设备特点:
1.LED清洗设备骨架:国产优质SUS304 骨架外包;
2. LED清洗设备外壳:2mm 厚SUS304 镜面板折弯焊接而成;
3. LED清洗设备台面:2mm 厚SUS304 镜面板
4. LED清洗设备采用10.4英寸“PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制;
5. LED清洗设备槽体设置温度、液位监控装置;
6.LED清洗设备 药液槽配透明槽盖,有效防止药液挥发,污染;
7.LED清洗设备清洗区域配有高效过滤器,无二次污染机会;
8. 用户操作人员上料后,全过程自动化控制,减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点;
9.LED清洗设备安全性能高,设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计,确保人身和厂务安全;
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