适用于：2-6英寸晶圆清洗 产品规格 控制模式：全自动控制 整机尺寸：2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H) 工件：2-6寸晶圆 产能：25片/槽 可按客户产能需求设计 操作高度：850±50mm 电源：380V 三相五线制，50HZ,14KW 设备特点： 1.led清洗设备骨架为SUS304外包3mmPP，外壳采用进口象牙白PVC板热熔焊接； 2. led清洗设备采用10.4英寸“PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制； 3. led清洗设备槽体设置温度、液位监控制装置； 4. led清洗设备药液槽配透明槽盖，有效防止药液挥发，污染； 5.led清洗设备清洗区域高效过滤器，无二次污染机会； 6.led清洗设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护，防腐防水； 7.led清洗设备底部安装3mm 厚PP 防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务地板； 8.led清洗设备的机械臂手采用直线滑块导向，反向安装，减少油及粉尘污染且便于维护； 9.用户操作人员上料后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点。 10.led清洗设备安全性能高，设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计，确保人身和厂务安全；