小型等离子清洗机泛指容积在10升以下，主要适用于半导体行业，应刷电路板行业，医疗诊断行业，医疗器械行业，弹性体行业，光学行业等
小型等离子清洗机的基本结构
1、射频电源部分：射频源，射频调节，功率放大，功率调节，功率输出，输出保护，等离子电极，温度保护。
2、系统控制部分：数字自控，I/O控制，真空度A/D检测，脉宽比例D/A调节，参数记忆，时钟设定。
3、真空与气路部分：真空系统，外加气体，流量调节，回气与管路
设备的通用技术参数
____ YZD08-10C型是单路气体输入，
*供电电源： AC220V
*工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
*射频电源功率： 500W
*射频频率： 40KHZ（偏移量小于0.2KHz）
*频率偏移量： 小于0.2KHz
*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
*真空度： 10Pa1000Pa
*气体流量： 1100ml/min(可调)
*过程控制： PLC自动与手动方式(人机界面)
清洗时间： 1-100分钟可调
功率大小 10%-100%可调
内腔尺寸 200mm×200mm×260mm
