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机械设备
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2013-05-28 16:477分享0询价
机械设备60MW去PSG背抛光刻
设备名称:60MW去PSG背抛光刻蚀清洗机
技术优势:
1.可观的电池效率提升,根据不同的工艺基础,可提升0.2%-0.3%。
2.集扩散后抛光和湿法刻蚀与一体(专利技术),无需额外设备投入,无需增加工序。
3.无需使用NaOH, HNO3 H2SO4,更环保、更低的化学品耗用成本。
4.实现硅片浸入溶液传输并抛光(专利技术),无需“水上漂”或“滚轮带液”,无刻蚀线,工艺稳定,容易控制。
5.解决了反应气泡不易散发的难题,抛光效果更好,碎片率更低。
6.专用抛光液,背面抛光效果更好,容易控制,产量大,成本低,废水低污染,易处理,节约废水处理成本。
7.背抛光技术与SE,背面钝化(AL2O3),背接触技术,两次印刷,MWT等主流技术可叠加,兼容性好,提升背面技术革新空间。
8.技术便于实现系统集成或模块化,方便客户选择整机或改造。
9.国内第一个完全拥有自主知识产权、新型提效解决方案。
联系人:张翠平 女士
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传 真:0512- 52210111
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