仪器名称

型号

扫描电镜（SEM）

Zeiss Ultra 55

主要技术参数

1、分辨率1.0 nm at 15 kV；1.7 nm at 1 kV；4.0 nm at 0.1 kV
2、加速电压0.1-30kV
3、放大倍数12-900000
4、探测电流4pA-20nA
5、电子枪：热场发射

应用范围

用于观察样品的表面形态、断口形貌、磨损表面形貌、纳米结构材料形态、生物样品形貌等；结构分析、成分分析。广泛用于材料学、机械学、微电子学、生物学、医学等领域。

材料要求

金属、薄膜、半导体、陶瓷、复合、高分子、生物材料等均可，具有一定的导电性，或喷碳/金处理。

仪器名称

型号

扫描电镜（SEM）

JEOL JSM-6700F

主要技术指标

1、分辨率1.0 nm at 15 kV；2.2 nm at 1 kV

2、放大倍数：低倍：×25-×19000

高倍：×100-×650000
3. eds分辨率: mnka小于136ev
4. eds 元素分析范围：b5-u92

应用范围

无机材料、高分子材料、复合材料、纳米材料、半导体等材料中，用于观察样品的表面形态、断口形貌、磨损表面形貌、纳米结构材料形态、生物样品形貌等；结构分析、成分分析。广泛用于材料学、机械学、微电子学、生物学、医学等领域。

材料要求

金属、薄膜、半导体、陶瓷、复合、高分子、生物材料等均可，具有一定的导电性，或喷碳/金处理。