1.OLED湿制程设备采用纯水隔离式或风帘隔离式 2.OLED湿制程设备具有清洗液在线分析检测系统 3.OLED湿制程设备采用全自动配液补液系统 4.OLED湿制程设备具有玻璃基板清洗后表面与平缝不得有水迹与污染物，清洗玻璃基板表面不能有灰尘、残留物、玻璃碎片、油污 的特点 5.OLED湿制程设备具有全程自动控制，工艺生产过程中不用人工干预，保证产品性能的一致性 多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储 的特点 6.OLED湿制程设备有客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要的特点