不锈钢/铜镜面抛光皮
物性说明:
品名 (ARTICLE NO): 不锈钢/铜镜面抛光皮
用途 (FOR USES) : 精抛
物理性质各项参数 ( PHYSICAL PROPERTIES )
项目 |
重量 |
厚度 |
密度 |
压缩率 |
弹性率 |
硬度 |
绒长 |
开口径 |
单位 |
g/m2 |
mm |
g/m3 |
% |
% |
Asker C |
μm |
μm |
测定值 |
539 |
1.54 |
0.35 |
2.9 |
70 |
60 |
570 |
50 |
(物理性质数据只是测定数值,不作为规格数值。)
(The above is not standard, but measured figures.)
产品特点:
v 材料的亲水性:
采用特殊冒泡聚氨基甲酸酯,对于抛光液的濡湿性(亲水性)出众.
v 基层纤维厚度的均一性:
抛光压力及抛光液的流动量均一
v 起泡的泡囊长度均一性:
抛光压力及抛光液的流动量均一以及抛光效率的均一性高
v 起泡的泡囊形状均一性:
抛光液的含量均一,因此抛光效率均一性高
v 起泡的泡囊的开口口径均一性:
抛光效率均一性高
v 基层材料采用微细纤维,厚度均一性及压力均一性都优越,抛光效率高
v 绒毛长度更长,良好的亲水性和抛光液流动率,通过减薄工艺,更好保持抛光后的面型精度
v 兼容性好,蓝宝石,水晶,晶片的精抛光用
CMP抛光布广泛应用于硅(Si)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、蓝宝石、水晶、金属等粗抛以及精密抛光。日本的信越半导体(硅片)、京瓷(蓝宝石)、并木(蓝宝石)、俄罗斯MonoCrystal(蓝宝石)、等多家公司都在使用该抛光布。