蓝宝石抛光垫
SH-Q20抛光布广泛应用于硅(Si)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、蓝宝石、水晶等粗抛以及精密抛光。日本的信越半导体(硅片)、京瓷(蓝宝石)、并木(蓝宝石)、俄罗斯MonoCrystal(蓝宝石)、等多家公司都在使用该抛光布。
物性说明:
品名 (ARTICLE NO): SH-Q20
用途 (FOR USES) : CMP *粗研磨用
物理性质各项参数 ( PHYSICAL PROPERTIES )
项目 | 重量 | 厚度 | 密度 | 压缩率 | 弹性率 | 硬度 | 绒长 | 开口径 |
单位 | g/m2 | mm | g/m3 | % | % | Asker C | μm | μm |
测定值 | 645 | 2.0 | 0.54 | 0.97 | 63 | 96 | -- | -- |
TEST METHOD | JIS- K6328 | JIS- K6328 | JIS- K6328 | JIS- L1096 | JIS- L1096 | JIS- K6301 | OWN METHOD |
(物理性质数据只是测定数值,不作为规格数值。)(The above is not standard, but measured figures.)产品特点:
v 能提高研磨效率,研磨面的表面状态如均匀的毛玻璃状态;
v 采用高硬度的不织布,使用寿命长;
v 可以用来金属的研磨,并可以使用研磨砂,有相应实绩;
v 可以根据用户要求开槽。
同比市面上较多的罗门哈斯SUBA系列抛光布具有以下优点:
v 抛光寿命更长
v 价格更加低廉
v 性能与SUBA系列持平