NP-10

氮化硅探针

用于接触式、轻敲式和力的测量

每个基片有4个悬臂，弹性系数为0.06 - 0.58 N/m

包装数量：10根/盒

针尖参数

几何：各向异性

针尖高度(h): 2.5 - 8.0µm

正面角 (FA): 15 ± 2.5°

背面角 (BA): 25 ± 2.5°

侧面角 (SA): 17.5 ± 2.5°

针尖曲率半径(Nom): 20nm

针尖曲率半径(Max): 60nm

针尖缩进 (TSB)(Nom): 4µm

针尖缩进范围(TSB)(RNG): 0 - 7µm