AFM探针,原子力显微镜探针

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AFM探针,原子力显微镜探针图1

AFM探针,原子力显微镜探针

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探针的工作模式:主要分为 扫描(接触)模式和轻敲模式

探针的结构:悬臂梁+针尖

探针针尖曲率半径Tip Radius:一般为10nm到几十nm

制作工艺:半导体工艺制作

 

常见的探针类型:

1. 导电探针(电学):金刚石镀层针尖,性能比较稳定

2 .压痕探针:金刚石探针针尖(分为套装和非套装的)

3. 氮化硅探针:接触式(分为普通的和锐化的)

4. 磁性探针:应用于MFM,通过在普通tappingcontact模式的探针上镀CoFe等铁磁性层制备

5. 电化学探针(STM: 电学接触式和电学轻敲式

6. FIB大长径比探针:测半导体结构,专为测量深的沟槽(深孔)以及近似铅垂的侧面而设计生产的。

 

Popular Probes & Applications

Application: High resolution topographical imaging of a wide variety of samples.

Probe Model: TESP, RTESP, OTESPA , NCHV, VL300

Specifications: 40 N/m, 300 kHz

AFM Mode: Tapping

 

Application: High resolution imaging for softer samples (Polymers, biological, and thin films)

Probe Model: FESP, RFESP, OLTESPA, FMV, VLFM

Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz

AFM Mode: Tapping or Force Modulation

 

Application: Magnetic and electrical measurements.

Probe Model: MESP, SCM-PIT, OSCM-PT, SCM-PIC

Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz

AFM Mode: MFM, EFM, SCM, Conductive AFM / TUNA

 

Application: Liquid Imaging, Force Measurement and pulling, Contact mode imaging in air

Probe Model: MSCT, NP-S, OTR4, OBL

Specifications: .006-.58 N/m

AFM Mode: Contact or Tapping

 

 

模式 常用探针型号

接触模式

ESP

MPP-31100-10

SNL-10

DNP-10

MLCT

MSNL-10

 

轻敲模式

空气 液体

MPP-11100-10 (RTESP)

TESP

OTESPA

FESP – SNL-10

DNP-10

MLCT

MSNL-10

 

峰值力轻敲模式

ScanAsyst-Air

ScanAsyst-Fluid

ScanAsyst-Fluid+

 

智能成像模式

ScanAsyst-Air

ScanAsyst-Fluid

ScanAsyst-Fluid+

ScanAsyst-Air-HR

 

轻敲模式& 相位成像模式

MPP-11100-10 (RTESP)

TESP

OTESPA

FESP

 

定量纳米力学性能测试模式

MPP-11120-10 (RTESPA)

MPP-12120-10

MPP-13120-10

PDNISP-HS

ScanAsyst-Air

 

磁力显微镜模式

MESP

MESP-HM

MESP-LM

MESP-RC

 

静电力显微镜模式

SCM-PIT

MESP

MESP-RC

OSCM-PT

 

峰值力隧道电流显微镜&导电原子力显微镜模式

SCM-PIC

SCM-PIT

DDESP-FM

PFTUNA

 

更多探针信息,请咨询铂悦仪器,谢谢!

 

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