小型等离子清洗机:
主要应用于实验、科研 、医学及小规模的生产领域。
特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。
控制 方式：手动或者自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙 组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。

中型等离子清洗机：

      主要应用于LCD、LED、连接器、键合前等大规模生产领域。

      特点：所有元器件及核心部件采用进口，保证了整机的稳定性和使用寿命。

      真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系，在抗氧化、耐腐蚀等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。

      控制方式：自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间记录，适合维护，可以提供工艺参考。

      标准型号：QT-60-PSP、QT-80-PSP、QT-100-PSP、QT-120-PSP、QT-25-PSP。

      ◎可存储50组工艺配方，随意调用。

      ◎清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。

      ◎工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。

      ◎一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洁结束提示等。

      ◎自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。

      ◎气体质量流量计采用美国进口，由模拟输入输出，量程为0～200sccm可在量程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC可对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。

      ◎根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等。电极结构（专利）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体地均匀性及稳定性。

东莞市启天自动化设备有限公司是一家专业从事自动化设备研发、制造、销售为一体的企业，是国内知名半导体及太阳能电池行业的制程设备供应商，我们生产的等离子清洗机，广泛应用于LED、LCD、LCM、手机天钱、手提电脑按键及外壳, CMOS摄像头及数码相机零组件, Si,InP,GaAs晶圆、晶片、光纤、电路板、X-ray镜片、UV/IR镜片、光盘读写头零组件、光学元件、 精密模具、精密仪器以及包装、印刷、纺织、塑料制品、生物材料、医疗器皿,半导体,太阳能光伏等行业...... 设备质量堪比国外同类产品，我们以创新、可靠的解决方案，以提高生产效率，降低劳动强度，节约人力成本为指导方向，依靠自己高素质的管理、研发、生产能力以及快捷的反应速度，为客户提供高品质的产品和周到的服务。 我们机器所使用的零部件均来自美国、日本、德国或国内外知名精工企业，推出的每台机器均以其稳定耐用、高性价比而著称，我们让客户深信：启天科技是最值得信赖的品牌！ 目前成熟的产品有：等离子清洗机、等离子刻蚀机、硅片装片机也称插片机、双片插片机、烧结炉前后端传片机、硅片倒片机、石英舟装载机、硅片自动上下料机等，公司产品已获得授权数十项国家专利。同时我公司还配套自产自销太阳能光伏行业的耗材，如各种硅片承载器、硅胶吸盘、抗腐蚀油等等。

公司服务宗旨：最少的故障就是最低的成本，最少的维修就是最好的售后.