本公司开发生产的等离子清洗机按频率分40KHZ/13.56KHZ按尺寸分25升、60升、80升、100升、120升等,按款式有台式和立式
本系列产品特点:
高精度、快响应、良好的操控性和兼容性、完善的功能和专业技术支持
本系列产品用途:
适应于医疗器皿、生物材料、印刷结路板行业、半导体、IC、LED、LCD、芯片领域、硅胶、塑胶、聚合体领域、汽车电子航空领域
印刷电路板行业:表面活化、表面清洁、去污、软板、软硬结合表面清洗
小型等离子清洗机:
主要应用于实验、科研 、医学及小规模的生产领域。
特点:成本低,整机机械、电气结构简单、实用,易维护。
控制 方式:手动或者自动控制模式,利用各简单元器件的巧妙 组合成自动控制体系,各参数调整好后,一键完成整个清洗工艺。
中型等离子清洗机:
主要应用于LCD、LED、连接器、键合前等大规模生产领域。
特点:所有元器件及核心部件采用进口,保证了整机的稳定性和使用寿命。
真空泵采用进口旋片泵,是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系,在抗氧化、耐腐蚀等诸多方面积累了丰富的经验,使泵的寿命大大提高,并有效降低了泵的维护成本,泵的各项保护措施完善,提高了长时间工作极限,泵油为耐高温、抗氧化油,泵具有可自行缓解温度过高的散热体系,无需水冷。泵体内置于机柜内部,使机器紧凑,占地面积小。
控制方式:自动控制系统采用PLC加触摸屏控制,所有工艺参数、工艺过程实时监控,并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间记录,适合维护,可以提供工艺参考。
标准型号:QT-60-PSP、QT-80-PSP、QT-100-PSP、QT-120-PSP、QT-25-PSP。
◎可存储50组工艺配方,随意调用。
◎清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。
◎工艺参数受密码保护,分级密码管理查询。
◎一键完成全自动工艺,实时故障报警、非法操作提示、清洁结束提示等。
◎自动提醒系统维护、更换真空泵油等,避免机器过载、过老化情形下工作,延长使用寿命。
◎气体质量流量计采用美国进口,由模拟输入输出,量程为0~200sccm可在量程范围内无级调节,根据特殊的工艺要求可用PLC可对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。
◎根据特殊的工艺要求可使用干泵,尾气处理设备,油过滤器,过滤返油装置等。电极结构(专利)的高等离子通量设计能很好地提高等离子体地均匀性及稳定性。