概述:
●调角机构可根据石英舟需要调节倾角。一般为3°角
●四节皮带独立运动、互不干涉、在靠近石英舟的时候可以慢速运行,不至于撞坏硅片而且不影响整机的工作效率。
●机器自带入篮导引装置和校正机构,可以装入篮前可能存在的跑偏等现象自动校正
●机器配在伸缩皮带装置,使硅片能够很顺畅地进入石英舟
●机器自带缸篮托架,可根据需要折叠起来,节省空间。
●可根据工艺需要完成自动翻片、自动叠双片你,背靠背叠加,自动装双片的功能。
概述:
●调角机构可根据石英舟需要调节倾角。一般为3°角
●四节皮带独立运动、互不干涉、在靠近石英舟的时候可以慢速运行,不至于撞坏硅片而且不影响整机的工作效率。
●机器自带入篮导引装置和校正机构,可以装入篮前可能存在的跑偏等现象自动校正
●机器配在伸缩皮带装置,使硅片能够很顺畅地进入石英舟
●机器自带缸篮托架,可根据需要折叠起来,节省空间。
●可根据工艺需要完成自动翻片、自动叠双片你,背靠背叠加,自动装双片的功能。
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