1. 设备上下硅片集成于一体,减少了人工搬运石英舟或者塑料花篮的劳动强度,也提高了整体的上下料速度,对于产能相对较少的车间可能一台机就够了,不必要非得上料机和下料机相互搭载;
2.设备引入了视觉检测石英舟载具的位置和硅片位置的系统,使硅片往石英舟内部导入时能够安全可靠,即使因为机械结构的松动或者其他故障造成的偏离也能确保硅片安全,降低碎片率。
3.真空吸片的机构采用多段独立式真空吸取机构,使吸片模块即使只吸住一片也能稳定可靠,而传统的一般少于40片就吸不牢固了。
4.硅片移动伺服及石英舟移动伺服的位置采用实时记忆反馈功能,其实际的位置处于监控之中,一旦偏离即会自动矫正,多次矫正依然无法归位即报警,相对传统纯粹靠外部传感器检测的方式多了一道保护屏障。
十、其它承诺:
1.安装:我方向现场施工人员提供关于设备安装所需的所有细节,以便用户准备现场,为设备安装做准备。我方负责设备安装