选择性发射结,高效太阳能电池,背接触电池,飞行光路,多工位

激光掺杂机

　　本设备将激光技术运用到太阳能硅片表面非接触式激光加工技术，选择一种特殊的新型激光器，配合适当光学系统，在硅表面形成一层刻痕，经过清洗之后对刻痕区域进行掺杂，最后用电镀或丝印的方式在槽内形成电极，以起到前表面电接触栅极的作用。用这种方法制备的电极度很窄具有很低的表面覆盖率，而且还具有高的纵深比，能够更好地吸收载流子，可以提高太阳电池的开路电压Voc，短路电流Isc和填充因子F.F.，从而提高光一电转换效率。

应用领域及用途：
晶体硅太阳能电池选择性扩散（LDSE），激光掺杂机是一款在太阳能电池制作过程中用来作选择性重掺提高太阳能电池效率的专用激光设备。利用激光将电池片表面磷源作选择性掺杂形成重掺杂区以降低欧姆接触，结合前道工序的轻掺杂发射结和后道工序的电镀或丝印工艺形成栅极以达到提高电池效率和带负载能力的功效。

设备特征：
两工位、六工位、12工位全自动平台
可配备自动化装卸系统
激光功率自动监测
破片自动检测，碎片率<2‰
加工速度＞5m/s
扩散深度＞0.6um
适用硅片单晶/多晶 125mm×125mm/156mm×156mm硅片