一、设备主要技术指标
1.1、激光器:德国IPG光纤激光器
1.2、泵浦方式:二极管泵浦
1.3、激光波长:1064 nm
1.4、激光模式:基模
1.5、激光输出最大功率:20 W
1.6、激光调制方式:数字式
1.7、激光脉冲频率:20KHz~100kHz连续可调
1.8、最大划片速度:≥
1.9、划片线宽:≤30 um
1.10、划片厚度:≥500 um
1.11、加工范围:320×
1.12、工作台重复精度:±10μm
1.13、脉冲宽度:25~50 ns
1.14、冷却方式:风冷
1.15、占地面积:1×
1.16、泵浦源使用寿命:100000小时
1.17、使用电源: 220V)/ 50 Hz /1kVA